晶圆加工环境（尤其是光刻、刻蚀、薄膜沉积区域）对微粒污染零容忍。传统润滑油脂在高速高温下会挥发或析出，产生可致命的分子级污染（AMC）和微粒，导致晶圆缺陷。HEP工程塑料自润滑轴承从根本上杜绝了此类污染源。轴承的摩擦层由浸渍了特殊固体润滑剂（如PTFE、石墨、二硫化钼）的高强度聚合物基复合材料（如PEEK、PI、PTFE复合材料）或金属基复合材料制成。在运行过程中，这些固体润滑剂会在摩擦副表面形成一层极薄且致密的转移膜，实现持续的“干式”润滑。